08:45 〜 09:00 [10a-Z10-1] ミニマルRFマグネトロンスパッタリング装置によるAlN薄膜の形成 〇堀田 将也1、西里 洋1、遠江 栄希2、柴 育成2、前田 拓哉3、藤井 知3 (1.堀場エステック、2.横河ソリューションサービス、3.沖縄高専)