2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » 【CS.1】 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析 と 7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[8p-Z25-1~13] 【CS.1】 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析 と 7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

2020年9月8日(火) 13:15 〜 16:45 Z25

瀬木 利夫(京大)、盛谷 浩右(兵庫県立大)

16:00 〜 16:15

[8p-Z25-11] MoS2のGCIBによる表面改質とエッチング条件の検討

〇(M2)劔持 将之1、豊田 紀章1 (1.兵庫県立大工)

キーワード:ガスクラスターイオンビーム, 二硫化モリブデン