[9a-Z18-1~10] 3.7 レーザープロセシング

[9a-Z18-9] レーザー誘起表面周期構造形成によるジルコニアの表面応力変化

〇欠端 雅之¹、屋代 英彦¹、大矢根 綾子²、伊藤 敦夫³ (1.産総研　電子光基礎、2.産総研　ナノ材料、3.産総研　健康医工学)

キーワード：表面周期構造, フェムト秒レーザー, 表面応力