[9a-Z25-1~5] 7.1 X線技術

[9a-Z25-5] X線透過格子を用いた超解像X線位相イメージング装置の開発

〇池松 克昌¹、百生 敦¹、高野 秀和¹、呉 彦霖¹、川上 博己²、Pouria Zangi³、Martin Börner³、Otto Markus⁴、Joachim Schulz⁴ (1.東北大多元研、2.浜松ホトニクス、3.カールスルーエ工科大、4.マイクロワークス)

キーワード：X線位相イメージング, X線透過格子, 超解像

従来のX線透視撮影では対応が難しい高分子材料や生体軟組織に有効なX線透過格子を用いるX線位相イメージングにおいて、それまでの格子周期で制限される空間分解能（一般に数マイクロメートル）の限界を超える超解像技術の装置化を進めている。
本講演では、ディープX線リソグラフィにより作製した三角位相格子とマイクロフォーカスX線源を組み合わせた広視野超解像システムについて、装置開発の現状報告を行う。