[15a-D311-1~12] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15a-D311-6] ペロブスカイト型タンタル酸カルシウム薄膜の作製と評価

〇川口 昂彦¹、杉田 真由子¹、青島 楓汰¹、坂元 尚紀¹、鈴木 久男¹、脇谷 尚樹¹ (1.静大工)

キーワード：PLD、誘電体、ペロブスカイト

我々は、薄膜作製中に磁場印加可能なPLD法である、ダイナミックオーロラPLD法を開発してきた。本手法では、プルーム中のイオン-電子再結合が磁場印加により抑制されることで、高エネルギーを有するイオン化状態の原料が薄膜に供給される。これにより非平衡相の薄膜作製が期待できる。今回、我々はダイナミックオーロラPLD法を用いてタンタル酸カルシウム薄膜の作製を行ったところ、状態図では報告されていない、Ca/Ta～1の組成でペロブスカイト構造を有する結晶のエピタキシャル薄膜が得られたので報告する。