2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

居村 史人

発表者・著者、共著者

2021年9月12日(日) 13:00 〜 16:15 N323 (口頭)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 13 半導体
  • | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

15:00 〜 15:15

居村 史人1、村嶋 義秀2、松田 誠宙2、土屋 忠明2、善養寺 薫3、大江 隆3、小坂 光二3、新堀 俊一郎4、早川 透1、クンプアン ソマワン1,5、原 史朗1,5 (1.産総研、2.ロジックリサーチ、3.TCK、4.三友製作所、5.ミニマルファブ)