[10a-N221-1~7] 15.1 バルク結晶成長

[10a-N221-5] 大口径(111)CaF₂基板作成と評価

〇高橋 和也¹、藤井 高志^1,2、石地 耕太朗³、星生 伸一⁴、猿倉 信彦⁵、福田 承生¹ (1.㈱福田結晶研、2.立命館大、3.九州シンクロトロン光研究センター、4.オータスジャパン、5.阪大)

キーワード：フッ化物、グラフェン、基板

CaF₂は今までレンズ等の光学材料として使われてきたが、最近ではグラフェン用に(111)基板が注目されている。今回、＜111＞引上げ方位の直径6インチCaF₂を作成し、サファイア等と同様の加工法により基板へ加工後、各特性について調べたので報告する。