[11a-N304-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

△ [11a-N304-7] RFスパッタ成長時におけるBa/Si堆積比がガラス基板上BaSi₂膜に及ぼす影響

〇小板橋 嶺太¹、長谷部 隼¹、召田 雅美²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)

キーワード：BaSi2、スパッタ、シリサイド半導体