[11a-N304-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[11a-N304-8] Ba ターゲット及び BaSi₂ターゲットの同時スパッタによる BaSi₂膜の形成

〇木戸 一輝¹、小板橋 嶺太¹、長谷部 隼¹、召田 雅実²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)

キーワード：BaSi2、スパッタ、同時スパッタ