15:00 〜 15:15 [19p-Z02-6] プラズマスパッタリング法を用いたGeSnナノ構造膜の堆積とLiイオン電池への応用 〇(M1)永井 健太1、髙田 瑛叶1、林 純希1、羽生 侑真1、内田 儀一郎1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)