[19a-P01-1~5] 7 ビーム応用(ポスター)

[19a-P01-2] 熱ナノインプリントにおけるインプリント温度の低温化

〇田邉 英毅¹、清水 進吾¹、川田 博昭¹、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.大府大)

キーワード：熱ナノインプリント

熱ナノインプリントで樹脂をパターニングするにはプレス温度を150 ℃程度の比較的高温で行う場合が多い。しかし熱耐性の低い基板等を用いるときにはプレス温度の低温化が必要である。そこでスピンコート後プリベーク温度を下げて樹脂薄膜内の溶媒の飛散を抑えることにより樹脂の硬化を抑制し、熱ナノインプリントの低温化を行った。その結果、プレス温度100℃でアクリル（PMMA）やポリスチレン（PS）に良好なパターンを作製できるようになった。