[23p-P06-1~16] 6.4 薄膜新材料

[23p-P06-5] FeRh合金薄膜の磁気相転移におよぼす格子歪の影響

〇福住 正文¹ (1.兵庫県立工業技技術センター)

キーワード：スパッタリング法、FeRh合金薄膜、格子歪

スパッタリング法でFeRh合金薄膜を作製し，格子歪による磁気特性の変調について，電気抵抗率の変化から観察し，基板とのミスマッチングや組成，成膜方法との関係について調べた．成膜方法の違いによって成長する結晶面に違いが現れた．