[24p-F308-1~11] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[24p-F308-10] 真空エレクトロスプレー液滴イオン衝撃による衝突痕とスパッタ体積

川瀬 幹大¹、常木 誠之助¹、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三¹、〇二宮 啓¹ (1.山梨大工)

キーワード：エレクトロスプレー、イオンビーム、帯電液滴

我々は水溶液を真空下でエレクトロスプレーさせることによって発生させた帯電液滴をそのままイオンビームとして利用する、真空エレクトロスプレー液滴イオンの研究を行っている。本研究では、短時間照射したポリスチレン試料の表面を原子間力顕微鏡で観測して衝突痕やスパッタ体積を調査し、長時間照射した試料のスパッタ深さを分光エリプソメーターで調査した。