[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [15p-B309-12] 真空紫外吸収分光法による小型 ECR 窒素プラズマ中の窒素原子密度計測 ー活性窒素種の表面吸着確率評価のためにー

〇(M1)植林 彰吾¹、佐々木 浩一¹、魯 邦²、高草木 達²、朝倉 清高² (1.北大工学院、2.北大触媒研)

キーワード：小型ECRプラズマ、窒素原子密度、触媒

小型 ECR 窒素プラズマ中の窒素原子密度の絶対値を真空紫外吸収分光法により測定した結果、流量を低下させたときにはあまり変化しなかったが，ある流量で窒素原子密度が増加し、低い流量から再び同条件の測定を行ったときには流量を低下させながら測定したときよりも高い窒素原子密度が観察され、一定量以上で元の値に戻った。これはステンレス真空容器表面における窒素原子の損失確率が履歴を有して変化していることを示唆している。