[16p-E302-1~10] 究極のラボ・オートメーション：半導体ギガFabを実験用巨大ロボットとして動かせるか？

[16p-E302-3] 半導体Fabの自動化を実現するAutomated Material Handling System

〇本告 陽一¹ (1.村田機械)

キーワード：自動搬送、AMHS

300㎜半導体Fabの自動搬送は2000年から本格化され、その需要と規模は年々急速に拡大しています。弊社では幅広いユーザとのやり取りを通して、マーケットの見通しやニーズを学び、独創的な発想と製品開発で需要に応じた提案を行い、搬送トレンドを牽引して来ました。
今回の講演では、Fab内自動搬送システムのご紹介に加えて、これまでの搬送トレンドの変遷を振返り、今後の課題及びトレンドの見通しについて考えます。