[2I08-17] SiC

[2I17] SiC高温水腐食へ及ぼす照射欠陥の影響

*近藤 創介¹、前田 有輝²、深見 一弘²、檜木 達也¹ (1. 京都大学エネルギー理工学研究所、2. 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻)

キーワード：炭化ケイ素、高温水腐食、半導体、照射欠陥

高温高圧水中でのSiCの腐食に及ぼす照射欠陥の影響を、イオン、電子線照射した高純度SiCを対象とした電気化学挙動および材料中の欠陥準位の相関評価により検討した成果を発表する。