[3L09-12] Quantum Beam Application

[3L09] Study on primary process of beam-induced reaction of metal resist ligands (2)

*Ikeuchi Kengo¹, Tomoe Otuka¹, Yusa Muroya¹, Takahiro Kozawa¹, Takuya Ikeda², Yoshitaka Komuro², Daisuke Kawana² (1. ISIR. Osaka Univ., 2. Tokyo Ohka Kogyo)

Keywords:Pulse radiolysis, Metal resist, Ligand as carboxylic acid, Beam-induced reaction

カルボン酸配位子を持つメタルレジストは高感度かつ耐エッチング性が高いことから、次世代レジストとして注目されている。しかし、このレジストに対するビーム誘起反応のメカニズムについては未だによくわかっていない。そこで本研究では、パルスラジオリシス法を用いて、各種カルボン酸配位子の反応メカニズムについて調べた。