[1G10-14] ビーム利用

[1G14] メタルレジスト配位子の放射線誘起反応過程の解明

*大塚 友惠¹、室屋 裕佐¹、古澤 孝弘¹、池田 卓也²、小室 嘉崇²、川名 大助² (1. 阪大産研、2. 東京応化)

キーワード：メタルレジスト、カルボン酸配位子、生成物分析、放射線誘起反応

カルボン酸配位子を持つメタルレジストは高感度かつ耐エッチング性が高いことから、次世代レジストとして注目されている。しかし、このレジストに対するビーム誘起反応のメカニズムについては未だによくわかっていない。そこで本研究では、放射線照射により、カルボン酸が脱炭酸するという仮定をもとにガスクロマトグラフィー等を用いて、各種カルボン酸配位子から生じる二酸化炭素のG値を比較した。