[2L01-05] プラズマ対向機器工学

[2L01] 照射材料におけるガス放出挙動と微細組織変化の実時間同時測定

*原 一智¹、澤江 伴弥¹、杉本 有隆¹、渡辺 淑之²、宮本 光貴¹ (1. 島根大学、2. QST)

キーワード：透過型電子顕微鏡、四重極質量分析計、F82H、ヘリウムバブル

新たな試みとしてイオン銃直結型の透過型電子顕微鏡（TEM）に四重極形質量分析計（QMS）を導入し，試料からのガス放出挙動と微細組織変化の実時間同時測定が行える装置（TEM-QMS）を構築した．本講演では，TEM-QMS構築に関わる装置上の制約やその克服に向けた課題を整理するとともに，実際にTEM-QMSを用いた実験結果の一例を紹介する． TEM-QMSを用いることで，材料中の動的なガス放出挙動を微細組織変化と直接関連付ける決定的な知見を得ることが期待された．