スケジュール 2 11:00 〜 11:20 [2I07] バッテリー電極の3D構造観察 高い空間分解能で広範囲の情報を取得 *村田 薫1、レメンズ ハーマン1 (1. サーモフィッシャー サイエンティフィック) キーワード:3D , Plasma FIB, FIB-SEM