ECSJ Fall Meeting, 2018

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S10. マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

【マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術】
セッション4（一般講演4)

Tue. Sep 25, 2018 3:30 PM - 4:45 PM I会場 (108教室)

主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会

3:30 PM - 3:45 PM

[1I16] 窒化ガリウム加工基板に対する選択的光電気化学エッチングの検討

〇渡久地 政周1、武田 健太郎1、佐藤 威友1 (1. 北海道大学　量子集積エレクトロニクス研究センター)