09:30 〜 10:00
〇上野 和良1 (1. 芝浦工業大学工学部電子工学科)
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スケジュール
セッション情報
S19. 電子材料及びナノ機能素子技術
【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション1
2018年3月9日(金) 09:30 〜 12:00 U会場 (講義棟508号室)
座長:新宮原 正三(関西大学)、早瀬 仁則(東京理科大学)
主催：電子材料委員会
半導体集積回路技術や電子実装技術等に用いられる電子材料技術においては，電気化学に基づく手法で様々な機能性電子材料や電子素子開発が検討されている．本シンポジウムでは，これらの機能性材料やマイクロからナノサイズに及ぶ電子素子に関連する最新の研究成果を相互に発表し，活発な討論を行うことを目的とする．具体的には，ナノメーターサイズのメモリやトランジスタなどの素子形成及び性能評価技術，3次元金属配線の形成及び材料技術，絶縁膜材料技術，ナノワイヤ・ナノ粒子の形成と素子化技術，めっき技術，CVD及びALD技術，化学エッチング技術，CMP技術，洗浄技術，及びこれらの技術分野に関連する評価・解析技術などの分野を包むものとする．なお本シンポジウムは，一般講演と招待講演から構成される．
10:00 〜 10:30
〇有光 晃二1 (1. 東京理科大学 理工学部 先端化学科)
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スケジュール
10:30 〜 11:00
〇近藤 英一1 (1. 山梨大学)
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スケジュール
11:00 〜 11:15
〇川添 竜馬1、山内 彰1、早瀬 仁則1 (1. 東京理科大学)
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スケジュール
11:15 〜 11:30
〇佐々木 啓登1、松田 翔風1、長山 智男1,2、梅田 実1 (1. 長岡技術科学大学、2. 株式会社リコー)
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スケジュール
11:30 〜 11:45
〇生田 諒1、早瀬 仁則1 (1. 東京理科大学理工学部機械工学科)
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スケジュール
11:45 〜 12:00
〇丹羽 良輔1、清水 智弘1、松村 道雄2、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1. 関西大学、2. 関西大学 先端科学技術推進機構)
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スケジュール