スケジュール 4 13:00 〜 13:15 [1S01] O2及びH2O雰囲気中での反応性スパッタにより作製した酸化ロジウム薄膜のエレクトロミック特性の評価 〇チョン チャンヤン1、阿部 良夫1、川村 みどり1、金 敬鎬1、木場 隆之1 (1. 北見工業大学)