【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション3

[1U14] マイクロ流体デバイスを用いた銅めっきにおける添加剤挙動の観察

〇富江 嶺祥¹、秋田 貴誉¹、生田 諒¹、早瀬 仁則¹ (1. 東京理科大学理工学部機械工学科)