【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション3

[1U15] 微細溝パターンへの無電解めっきの検討

〇深堂 秀亮¹、井芹 崇樹²、上山 慎介¹、清水 智弘¹、伊藤 健¹、新宮原 正三¹ (1. 関西大学システム理工学部、2. 関西大学理工学研究科)