The 85th ECSJ Spring Meeting

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S14. マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

【マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術】
セッション4(一般講演4)

Sat. Mar 10, 2018 10:45 AM - 12:00 PM L会場 (講義棟408号室)

座長:和田 裕之(東京工業大学)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

11:00 AM - 11:15 AM

[2L06] イオン穿孔膜の孔形状制御とテンプレート応用

〇佐藤 裕真1、越川 博2、山本 春也2、杉本 雅樹2、澤田 真一2、八巻 徹也1,2 (1. 群馬大学、2. 量子科学技術研究開発機構)