Ｓ10．マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
2019年9月5日(木) 14:30 〜 15:30 F会場 (LC-27)
座長:國本 雅宏(早稲田大学)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には、薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成、評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．
14:30 〜 14:45
〇山本 春也1、田口 富嗣1、越川 博1、岡崎 宏之1、出崎 亮1、八巻 徹也1 (1. 量子科学技術研究開発機構)
スケジュール
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14:45 〜 15:00
〇中島 光俊1、亀山 達也1、桑畑 進2、鳥本 司1 (1. 名古屋大学大学院、2. 大阪大学大学院)
スケジュール
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15:00 〜 15:15
〇越川 博1、山本 春也1、八巻 徹也1、臼井 博明2 (1. 量子科学技術研究開発機構、2. 東京農工大学)
スケジュール
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15:15 〜 15:30
〇森田 康生1、深堂 秀亮1、清水 智弘2、伊藤 健2、新宮原 正三2 (1. 関西大学大学院、2. 関西大学)
スケジュール
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