Ｓ10．マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
2019年9月5日(木) 15:45 〜 16:45 F会場 (LC-27)
座長:柳下 崇(首都大学東京)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には、薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成、評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．
15:45 〜 16:00
〇杉田 隆紀1、小林 範久1、中村 一希1 (1. 千葉大学大学院)
スケジュール
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16:00 〜 16:15
〇榎本 光臣1、小林 範久1、中村 一希1 (1. 千葉大学大学院)
スケジュール
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16:15 〜 16:30
〇溝口 拓哉1、鯉沼 陸央1、伊田 進太郎1 (1. 熊本大学)
スケジュール
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16:30 〜 16:45
〇佐藤 瑠美1、齋藤 美紀子1、紺野 良平2,3、林 佑2、山崎 典子2、満田 和久2、本間 敬之1 (1. 早稲田大学、2. 宇宙科学研究所、3. 北里大学)
スケジュール
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