2019電気化学秋季大会

講演情報

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Ｓ10．マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

ナノマイクロファブリケーション2（一般講演2）

2019年9月5日(木) 14:30 〜 15:30 F会場 (LC-27)

座長:國本 雅宏(早稲田大学)

主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会

15:15 〜 15:30

[1F08] 次世代LSI微細配線に向けた無電解Coめっき膜の形成と評価

〇森田 康生1、深堂 秀亮1、清水 智弘2、伊藤 健2、新宮原 正三2 (1. 関西大学大学院、2. 関西大学)