2019電気化学秋季大会

講演情報

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Ｓ10．マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

ナノマイクロファブリケーション3（一般講演3）

2019年9月5日(木) 15:45 〜 16:45 F会場 (LC-27)

座長:柳下 崇(首都大学東京)

主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会

16:30 〜 16:45

[1F12] パルス電析法を用いたTES型マイクロカロリメータ用Fe吸収体作製の検討

〇佐藤 瑠美1、齋藤 美紀子1、紺野 良平2,3、林 佑2、山崎 典子2、満田 和久2、本間 敬之1 (1. 早稲田大学、2. 宇宙科学研究所、3. 北里大学)