The 87th ECSJ Spring Meeting

Session information

S14.マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

セッション3(一般講演/学生講演)

Thu. Mar 19, 2020 1:00 PM - 2:15 PM C3会場(キャパシタ/キャパシタ/マイクロ-ナノ) (5223)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

1:15 PM - 1:30 PM

〇佐久間 翔吾1、引間 稚菜2、藤村 樹3、福中 康博4、本間 敬之1,2,3,4 (1. 早稲田大学先進理工学部応用化学科、2. 早稲田大学先進理工学研究科応用化学専攻、3. 早稲田大学先進理工学研究科先進理工学専攻、4. 早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構)

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