The 87th ECSJ Spring Meeting

Presentation information

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

セッション2(特別講演/一般講演)

Thu. Mar 19, 2020 2:10 PM - 3:10 PM A2会場(分子/分子/電子材料) (2312)

主催:電子材料委員会

2:40 PM - 2:55 PM

[3B04(一般講演)] 貴金属触媒を用いた湿式選択Siエッチングにおける界面活性剤の効果

〇花谷 俊輔1、依岡 拓也1、清水 智弘1、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1. 関西大学)