電気化学会第87回大会

講演情報

印刷

S19.電子材料及びナノ機能素子技術

セッション2（特別講演/一般講演）

2020年3月19日(木) 14:10 〜 15:10 A2会場(分子/分子/電子材料) (2312)

主催：電子材料委員会

14:40 〜 14:55

[3B04(一般講演)] 貴金属触媒を用いた湿式選択Siエッチングにおける界面活性剤の効果

〇花谷 俊輔1、依岡 拓也1、清水 智弘1、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1. 関西大学)