The 87th ECSJ Spring Meeting

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S19.電子材料及びナノ機能素子技術

セッション2（特別講演/一般講演）

Thu. Mar 19, 2020 2:10 PM - 3:10 PM A2会場(分子/分子/電子材料) (2312)

主催：電子材料委員会

2:55 PM - 3:10 PM

[3B05(一般講演)] 無電解Co合金めっき膜の形成とCu拡散バリア性の評価

〇松平 太郎1、深堂 秀亮1、清水 智弘1、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1. 関西大学)