The 87th ECSJ Spring Meeting

Presentation information

S14.マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

セッション3(一般講演/学生講演)

Thu. Mar 19, 2020 1:00 PM - 2:15 PM C3会場(キャパシタ/キャパシタ/マイクロ-ナノ) (5223)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

1:30 PM - 1:45 PM

[3L11(学生講演)] ガスセンサ用金属電極作製及び電気的特性評価

〇佐藤 翔太1、橋新 剛1、久保田 弘1、吉岡 昌雄1 (1. 熊本大学)