*Patrick Fiorenza1, Mario S. Alessandrino2, Beatrice Carbone2, Clarice Di Martino2, Alfio Russo2, Mario Saggio2, Carlo Venuto2, Edoardo Zanetti2, Corrado Bongiorno1, Filippo Giannazzo1, Fabrizio Roccaforte1
(1. Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi, Catania(Italy), 2. STMicroelectronics, Catania(Italy))