日本鉄鋼協会第182回秋季講演大会

講演情報

一般講演

材料の組織と特性

表面処理技術

2021年9月3日(金) 10:00 〜 12:00 会場8

座長:秋葉浩二郎 [日本製鉄]

会議に参加する

11:40 〜 12:00

[147] Microwave-sheath Voltage combination Plasmaの低真空領域でのプラズマ評価

田中一平1, 原田泰典1 (1.兵庫県立大)

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