ISSP2024

講演情報

Oral Presentation

3.Pulsed Sputtering and HiPIMS

Oral Session HP1

2024年7月4日(木) 09:00 〜 10:20 Room O (Science Hall)

09:40 〜 10:00

[HP1-02] On working gas rarefaction in high power impulse magnetron sputtering

*Kateryna Barynova1, Swetha Suresh Babu1, Martin Rudolph2, Joel Fischer3, Michael Raadu4, Nils Brenning3,4, Daniel Lundin3, Jon Tomas Gudmundsson1,4 (1. University of Iceland, 2. Leibniz Institute of Surface Engineering (IOM), 3. Linköping University, 4. KTH Royal Institute of Technology)

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