ISSP2024

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

Poster Session P4

2024年7月4日(木) 17:40 〜 19:10 Room P (Atrium)

17:40 〜 19:10

[P4-13] Deposition of Vanadium dioxide thin films by reactive High-Power Pulsed Magnetron Sputtering with dynamical alternation of oxygen flow rate

*Haruki Sato1, Kosuke Kasugai1, Md. Suruz Mian1, Takeo Nakano1 (1. Seikei Univ.)

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