IVC-22

講演情報

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Parallel Sessions

Vacuum Science and Technology

[Mon-D1] Vacuum Science and Technology -- Outgassing, Adsorption, Desorption

2022年9月12日(月) 13:15 〜 15:15 Room D (Mid-sized Hall B)

13:45 〜 14:00

[Mon-D1-3] Analysis of outgassing using both TD-GC/MS and TDS

*Risa Naruse1, Sakae Inayoshi1 (1. ULVAC, Inc. (Japan))

キーワード：outgassing, TDS, TD-GC/MS

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