IVC-22

講演情報

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Parallel Sessions

ISSP / Surface Engineering

[Wed-H1] ISSP / Surface Engineering

2022年9月14日(水) 14:00 〜 15:30 Room H (Meeting Room 204)

14:45 〜 15:00

[Wed-H1-2] Plasma diagnostics of multi-pulse HiPIMS discharge

*Jaroslav Hnilica1, Peter Klein1, Nikolay Britun2,3, Petr Vasina1 (1. Masaryk University (Czech Republic), 2. Université de Mons (Belgium), 3. Nagoya University (Japan))

キーワード：magnetron, HiPIMS, LIF, AAS

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