[Wed-PO1A-23] Examination of ion irradiation effect by property evaluation of Co thin films on a glass substrate prepared using magnetron sputtering with multipolar magnetic confinement
キーワード：ion irradiation effect, sputtering, Co thin film
要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン