R7: 岩石・鉱物・鉱床一般 (資源地質学会共催セッション)

[R7P-06] 岩石微細組織観察に於けるEPMA定量イメージング技術の活用

*吉田 健太¹ (1. JAMSTEC)

キーワード：EPMA定量イメージング

EPMAを用いた岩石の組織観察では後方散乱電子像（BSE像）が広く用いられるが，BSEの励起範囲は一般的に特性X線のそれより遥かに小さく，強度は正相関するとされている．BSE強度を用いて定量的なイメージングが出来るようになると

①従来のイメージング空間分解能（3～5μm）の限界を突破した微細構造の定量的解析

②FIB-SEMと組み合わせた三次元定量イメージング
が出来るようになることが期待される．本研究では，EPMA定量イメージングで得られる膨大な量の定量分析値を用いて，BSE像から高分解能定量イメージングを行う技術の開発と応用例を紹介する．