スケジュール 2 13:45 〜 14:00 [11B2-04] 低真空スパッタによるガラス上への回路形成を目的とした高密着銅シード膜 〇上山 浩幸1、猿渡 哲也1、吉岡 尚規1、Cordonier Christopher EJ2、渡邊 充広2 (1. 株式会社島津製作所、2. 関東学院大学 材料・表面工学研究所) 抄録パスワード認証抄録の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。 パスワード 認証