[G] Semiconductors & Functional Materials

[162] 非金属表面における層状半導体MoS₂の摩擦誘起成膜

*OSAKI Junya¹, TADAO Tanabe², OYAMA Yutaka² (1. 東北大工（院生）、2. 東北大工)

Keywords:二次元層状半導体、MoS₂、MoDTC、摩擦誘起成膜

有機モリブデン系化合物MoDTCは金属同士の接触による摩擦面で反応し二次元層状半導体MoS₂薄膜が生成する。この反応を半導体デバイスプロセスに応用することを目的とし、非金属表面でMoS₂薄膜生成を行う。