[G] Dry Process, Thin- and Thick-Film Production, Surface and Interface Reaction, Surface Analysis

[411] 大気中簡便酸化による可視光吸収型Ti-Zr系酸化物半導体の開発

*SHUTO Yosuke¹, HIMENO Yuta¹, MATSUDA Mitsuhiro², SHIDA Kenji³, MATSUDA Motohide² (1. 熊大院自然(院生)、2. 熊大院先端科学、3. 熊大工技術)

Keywords:Ti-Zr合金、酸化物半導体、大気中酸化、エネルギーギャップ

エネルギー問題や環境問題の改善のため、可視光吸収可能なエネルギーギャップを持つ材料の開発が注目されている。Ti-Zr合金を大気中簡便酸化する事で黒色の酸化物が作製され、長波長領域までの光が吸収された。