[G] Dry Process, Thin- and Thick-Film Production, Surface and Interface Reaction, Surface Analysis

[412] (Cr,Al)酸化物コーティングの硬さに及ぼす成膜条件の影響

*ICHIKAWA DAIKI¹, ANDO DAISUKE², SUTO YUJI² (1. 東北大工（院生）、2. 東北大工)

Keywords:硬質コーティング、酸化物、高硬度、耐熱性、薄膜

（Cr,Al)酸化物コーティングの成膜条件による硬度、組織の変化および熱的安定性を調査した。