[G] 気相プロセス・薄膜･厚膜作製技術・表界面反応･分析

[411] 大気中簡便酸化による可視光吸収型Ti-Zr系酸化物半導体の開発

*首藤 洋輔¹、姫野 雄太¹、松田 光弘²、志田 賢二³、松田 元秀² (1. 熊大院自然(院生)、2. 熊大院先端科学、3. 熊大工技術)

キーワード：Ti-Zr合金、酸化物半導体、大気中酸化、エネルギーギャップ

エネルギー問題や環境問題の改善のため、可視光吸収可能なエネルギーギャップを持つ材料の開発が注目されている。Ti-Zr合金を大気中簡便酸化する事で黒色の酸化物が作製され、長波長領域までの光が吸収された。