[G] 気相プロセス・薄膜･厚膜作製技術・表界面反応･分析

[413] 高温用Cr-Al-Nひずみセンサ薄膜の組織に及ぼす成膜ガス圧の影響

*丹羽 英二¹ (1. 電磁研)

キーワード：高温、ひずみセンサ、Cr-Al-N薄膜、成膜ガス圧、組織

高温用高感度ひずみセンサとしてCr-Al-N薄膜が期待されている。500℃近傍まで安定高感度に利用でき、特に350℃まで約8で一定のゲージ率を示す。本報では断面組織観察を行い、その薄膜組織へのガス圧の影響を報告する。