CrSiCN複合膜の機械的性質と組織に及ぼす大気中熱処理の影響

SAKURAI Akihiko

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General Session

5.Materials Chemistry » Surface and Interface

[G] Dry Process, Thin- and Thick-Film Production, Surface and Interface Reaction, Surface Analysis

Thu. Sep 12, 2019 1:00 PM - 5:00 PM P (D52 at 5th Flr. Building C for General Education)

座長:竹村明洋(岡山理科大学）、須藤祐司(東北大学)、松村義人(東海大学)、日沼洋陽(千葉大学)

4:30 PM - 4:45 PM

[421] CrSiCN複合膜の機械的性質と組織に及ぼす大気中熱処理の影響

*SAKURAI Akihiko¹, TAKEMOTO Kanta², TSUCHIYA Taiki¹, LEE Seung¹, MATSUDA Kenji¹, IKENO Susumu³, NOSE Masateru³ (1. 富山大、2. 富山大（現：三協立山株式会社）、3. 富山大学名誉教授)

Keywords:CrSiCN、複合膜、熱処理、SiC

反応スパッタ法により作製されたCrSiCN複合膜が30GPa～40GPa程度の硬さを示し,CrN膜よりも高い耐酸化性を有することを報告した.そこで,本研究では熱処理がCrSiCN複合膜の機械的性質や構造に及ぼす影響を調査した.

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